SEM/EDS

汎銓科技提供高解析SEM分析(包含影像&成份分析)以及一般場發式SEM分析(包含影像&成份分析)。汎銓科技SEM設備多達5台,提供24小時分析服務!

 

UHR SEM

 

化學成分分析空間解析度低於10 nm → 趨近TEM分析,可有效提升分析效率!!

 

Samsung Galaxy S8 CPU6T-SRAM區域,X方向(a)Y方向(b)SEM照片。cd分為ab照片紅色虛線框的放大照片。

 

 

汎銓最新引進的SEM EDS化學成分分析可以清楚地呈現厚度只有約10 nm金屬層

 

 

SEM EDS針對前一頁照片d綠色虛線框區域元素分析,結果有偵測到5種元素,分別是a) Cub) Oc) Sid) Ne) Taf)為所有元素疊加在一起呈現的結果。g) SEM放大照片,清楚呈現Cu線邊緣的Ta層厚度大約是9.2 nm11.9 nm 

 
 
 
 

HR SEM 

SEM/EDS analysis of anomalous ACF bonding process.
The spectra show the element distribution of the ACF ball.

 

 

Cross-section SEM images show the IC process structure of a 1P6M device.

 


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SEM  陳小姐 分機6211

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