Nano Prober System

 

 

Nano Prober N-6000 with Agilent B1500A

 

 

 

N-6000 是針對90-65-45(32) 奈米元件特性量測之奈米級探針量測儀器。

以掃瞄式電子顯微鏡(SEM)配合高精度裝備的驅動器, 直接以精細探針直接接觸元件的線路,量測提供元件的電性特性曲線,例如,單個 MOS電晶體的特性,連接線路阻值等等。

對於半導體元件故障分析及奈米尺度下之各種研究提供直接且正確的資料。

 

應用:

1. 測量 MOS 電晶體特性。
2. 奈米半導體元件故障失效分析。
3. 微奈米結構與奈米加工研究。
4. 微機電 IC 微結構研究。
5. 表面科學研究。

 

 

應用:


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李先生 分機6858

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