汎銓科技發表業界最新SEM/EDS分析:化學成分分析空間解析度低於10 nm

化學成分分析空間解析度低於10 nm → 趨近TEM分析,可有效提升分析效率!!

 

Samsung Galaxy S8 CPU6T-SRAM區域,X方向(a)Y方向(b)SEM照片。cd分為ab照片紅色虛線框的放大照片。

 

 

汎銓最新引進的SEM EDS化學成分分析可以清楚地呈現厚度只有約10 nm金屬層

 

 

SEM EDS針對前一頁照片d綠色虛線框區域元素分析,結果有偵測到5種元素,分別是a) Cub) Oc) Sid) Ne) Taf)為所有元素疊加在一起呈現的結果。g) SEM放大照片,清楚呈現Cu線邊緣的Ta層厚度大約是9.2 nm11.9 nm