SEM/EDS
汎銓科技提供高解析SEM分析(包含影像&成份分析)以及一般場發式SEM分析(包含影像&成份分析)。汎銓科技SEM設備量充足，提供24小時分析服務!
汎銓科技最新高階– Hitachi Regulus 8220 SEM–上線服務
Hitachi Regulus 8220 是最新一代的冷場發SEM，具有最佳的空間解析度與最小的能量發散，是分析先進製程IC失效/異常的最佳利器。
– Hitachi Regulus 8220與Hitachi 8220的規格比較
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UHR SEM
化學成分分析空間解析度低於10 nm → 趨近TEM分析，可有效提升分析效率!!
Samsung Galaxy S8 CPU在6T-SRAM區域，X方向(a)與Y方向(b)的SEM照片。c與d分為a與b照片紅色虛線框的放大照片。
汎銓最新引進的SEM EDS化學成分分析可以清楚地呈現厚度只有約10 nm的金屬層
SEM EDS針對前一頁照片d綠色虛線框區域元素分析，結果有偵測到5種元素，分別是a) Cu，b) O，c) Si，d) N與e) Ta。f)為所有元素疊加在一起呈現的結果。g) SEM放大照片，清楚呈現Cu線邊緣的Ta層厚度大約是9.2 nm到11.9 nm。
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SEM 陳小姐 分機6211
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