SAT

超音波掃瞄顯微鏡(Scanning Acoustic Tomography,SAT)：Sonoscan Gen6

基本原理探頭發出音波，而音波在各層間傳導的過程中都會形成反射波及穿透波。並在被Sensor偵測後，根据收到的能量大小將其影像化，最後根據影像及波形即可判斷異常。汎銓科技針對各種不同的封裝形式，備有多樣頻率的探頭可選擇。

– 應用範圍

• 1. Package or Die crack
• 2. Delamination
• 3. Void in resin

C-SAM最大樣品 12" wafer ∼ 30 cm×30 cm

T-SAM最大 30 cm×15 cm

▍工程聯繫窗口

分機3010
E-mail: nde@msscorps.com