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SEM/EDS

汎銓科技提供高解析SEM分析(包含影像&成份分析)以及一般場發式SEM分析(包含影像&成份分析)。汎銓科技SEM設備量充足,提供24小時分析服務!

汎銓科技最新高階– Hitachi Regulus 8220 SEM–上線服務

Hitachi Regulus 8220 是最新一代的冷場發SEM,具有最佳的空間解析度與最小的能量發散,是分析先進製程IC失效/異常的最佳利器。

– Hitachi Regulus 8220與Hitachi 8220的規格比較


 

UHR SEM

化學成分分析空間解析度低於10 nm → 趨近TEM分析,可有效提升分析效率!!

Samsung Galaxy S8 CPU在6T-SRAM區域,X方向(a)與Y方向(b)的SEM照片。c與d分為a與b照片紅色虛線框的放大照片。

汎銓最新引進的SEM EDS化學成分分析可以清楚地呈現厚度只有約10 nm的金屬層

SEM EDS針對前一頁照片d綠色虛線框區域元素分析,結果有偵測到5種元素,分別是a) Cu,b) O,c) Si,d) N與e) Ta。f)為所有元素疊加在一起呈現的結果。g) SEM放大照片,清楚呈現Cu線邊緣的Ta層厚度大約是9.2 nm到11.9 nm。

 

 


 

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SEM 陳小姐 分機6211
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